• our science our science インテグリスのサイエンス
    • 産業別

      • Life Sciences

      • マイクロエレクトロニクス

        • Semiconductor

        • Data Storage

        • Flat Panel Display

        • LED

        • Solar

      • その他の工業

        • Aerospace

        • Chemical Manufacturing

        • Chromatography and Analytical

        • Coatings, Inks, and Adhesives

        • EDM

        • General Industrial

        • Glass Forming

        • Polymer Manufacturing

        • Water Treatment

        • Commercial Air Quality

    • 製造分野別

      • Logic Manufacturers

      • Memory Manufacturers

      • Semiconductor Equipment Manufacturers

      • Chemical Suppliers

      • Bioprocessing

    • ソリューション別

      • コンタミネーション コントロール

      • 流体管理

      • ライフサイエンス

      • 特殊材料

      • 基板のハンドリング

    • サービス別

      • Analytical Services

      • フィールドサポートサービス

      • FOUPサービス

      • リファビッシュサービス

      • ガスピューリファイヤーの再生サービス

      • New Multitier Navigation

      • Technology Centers

        • Korea Technology Center

        • Life Sciences Technology Center

  • product catalog product catalog 製品カタログ
    • 化学薬品

      • 薬品供給システム

        • 固体材料供給 システム

        • 薬液供給システム

      • 特殊配合薬品

        • Catalysts

        • Coating, Ink, and Adhesive Ingredients

          • Resin Monomers and Components

          • Surface Modifiers

        • ポスト CMP クリーニング

          • 半導体用 クリーニング ソリューション

            • PlanarClean® クリーニング ソリューション

            • ESC クリーニング ソリューション

          • ワイド バンド ギャップ半導体用 クリーニング ソリューション

          • HDD メディア基板用 クリーニング ソリューション

        • ポストエッチング クリーニング

          • TitanKlean® クリーニング ソリューション

          • ST クリーニング ソリューション

          • NOE エッチャント クリーニング ソリューション

        • Precursors

          • Upstream ALD/CVD Precursors

          • Advanced Deposition Materials (ADM) ALD/CVD Precursors

        • スラリー

        • Silanes

        • Organophosphorus Compounds

        • Specialty Acrylates and Methacrylates

        • Siloxanes

        • Specialty Additives

        • Ligands

        • ウェーハの再生

    • Device Trays

      • トレー ウィザード

      • H20 シリーズ用アクセサリ

      • H44 シリーズ用アクセサリ

    • Fluid Management Systems

      • 継手 選択ツール

      • リキッドパッケージング

        • FluoroPure® 薬液容器

          • FluoroPure® HDPEブロー成形ドラム

            • FluoroPure® アドバンテージ トライレイヤー HDPEブロー成形ドラム

            • FluoroPure® トライレイヤーHDPE ブロー成形ドラム

          • FluoroPure® 複合ドラム

          • FluoroPure®カスタム製品

        • Single-Use Assemblies

        • NOWPak®ライナーベースシステム

        • Sentry®クイックコネクトシステム

        • FluoroPure®中間バルクコンテナ

        • FluoroPure® ポートのオプション、ツール、アクセサリ

        • カスタム仕様のディップチューブ、タンク、コンテナ

        • FluoroPure®圧力容器

        • プロセスタンク

      • バルブ 選択ツール

      • Fluid Handling

        • Fittings

          • PrimeLock® チューブ継手

          • PrimeLock® ESD チューブ継手

          • PrimeLock®用 アクセサリ

          • Flaretek® チューブ継手

          • Flaretek®用アクセサリ

          • Cynergy®継手

          • Cynergy®用アクセサリ

          • EP PFAフレア継手

          • EP PFAフレア継手アクセサリ

          • PureBond®溶着チューブ継手

          • Quikgrip®チューブ継手

          • Quikgrip® PFAナット

          • インテグラルフルール チューブ継手

          • インテグラルフェルール チューブ継手用アクセサリ

          • 二重配管継手

          • PureBond®溶着パイプ継手

          • PureBond®アクセサリ

          • NPTパイプ継手

          • NPTネジ接続継手用アクセサリ

        • Valves

          • CR and CH Series Valves

            • CR4シリーズ バルブ

            • CRE4シリーズバルブ

            • CRE8シリーズバルブ

            • CR8シリーズ バルブ

            • CH8シリーズ 高温用バルブ

          • Integra®バルブ

          • Integra® Plus WS ESD Valves

          • Cynergy®バルブ

          • EP PFAバルブ

          • マニホールドおよびアッセンブリー

          • SGシリーズバルブ

          • ソレノイドバルブ

          • スタックバルブ

          • プラグバルブ

          • ニードル/計量バルブ

          • ストップコックバルブ

          • バルブ用 アクセサリ

        • 流体制御用の補助製品

          • スプレー製品

          • アスピレーター

          • ネジ類

        • バルブ 選択ツール

        • 継手 選択ツール

        • チューブおよびパイプ

        • カスタム製品

      • Process Monitoring

        • プロセスの制御

          • InVue™ インテグレーテッド 流量コントローラ

          • NT™ 流量制御バルブ

          • フォトケミカル ディスペンス システム

        • プロセスの管理

          • 濃度計

          • 差圧式流量計

          • NT™圧力トランスデューサ

        • 粒子特性評価

    • ガスのろ過、精製

      • ガスディフューザー

        • Chambergard™ ガス ディフューザー

      • ガスフィルター

        • インライン アロイ 22 ガスフィルター

        • ベント用ガスフィルター

        • Bulk Gas Filters and Housings

        • vent gas filter copy

        • その他の ガスフィルター

        • PTFE メンブレン製 インライン ガスフィルター

        • ステンレススチール製 インライン ガスフィルター

        • ニッケルメンブレン製 インライン ガスフィルター

        • 集積 ガスフィルター

        • gasfilterscopy

      • AMC Filters

        • ステッパー / スキャナー用 ケミカル フィルター

        • プロセス装置用 ケミカル フィルター

        • クリーンルーム用 ケミカル フィルター

        • DUV、EUVスキャナー用 ケミカル フィルター キャビネット

      • ガスピューリファイヤー

    • ハードディスク部品のハンドリング

      • 保管用ボックスおよび個別ディスクパック

      • リードライトトレーおよびキャリア

      • ディスクシッパー

      • ディスクプロセスキャリア

    • 液体のろ過、精製

      • 液体用 フィルター

      • 液体用 ピューリファイヤー

      • 液体用 フィルター ハウジング

    • マスクおよびレチクルのハンドリング

      • レチクルポッドおよびパージ キャビネット

      • マスクキャリアと出荷ボックス

      • マスクパッケージ

    • その他の基板のハンドリング

      • その他のデバイス用工程内容器

      • 太陽電池用製品

    • 特殊ガス

      • 特殊配合 ガス

      • ガス供給用シリンダーシステム

      • ガス供給用 キャビネット システム

      • ガス

    • 特殊材料

      • 高純度グラファイト

        • Industrial Graphite Grades

        • Semiconductor Graphite Grades

        • Life Sciences Graphite Grades

        • Aerospace Components

        • 高純度 グラファイト 部品

        • ガラス成形用 グラファイト

        • GLASSMATE®コンポーネント

        • グラファイト処理の オプション

      • コーティング

        • 静電チャック

        • プラズマ CVD コーティング

        • Caerus™ コーティング 技術

        • Pegasus™ コーティング 技術

      • 高純度シリコンカーバイド

        • SUPERSiC® シリコン カーバイド 部品

        • SUPERSiC® シリコン カーバイド

      • Advanced Cleaning Materials (ACM)

    • ウェーハハンドリング

      • ウェーハプロセス用製品

        • CMP 洗浄用ブラシ

        • CMP パッド

        • 300 mm FOUP

        • 200 mm ウェーハ用工程内容器

        • 200 mmウェーハ用アクセサリ

        • 150 mmウェーハ用工程内容器

        • 150 mm 以下のウェーハキャリア用アクセサリ

        • 125 mm ウェーハ用工程内容器

        • 100 mm ウェーハ用工程内容器

        • 76.2 mm (3") ウェーハ用工程内容器

        • 2.5 インチ以下のウェーハ用工程内容器

        • 実験用器具

        • 静電チャック

      • ウェーハ用 出荷容器

        • 300 mm ウェーハ出荷容器

        • 200 mmウェーハ用出荷容器

        • 150 mmウェーハ用出荷容器

        • 125 mmウェーハ用出荷容器

        • 100 mmウェーハ用出荷容器

        • 3インチ ウェーハ用出荷容器

        • 2.5 インチ以下のウェーハ用出荷容器

      • 完成品ウェーハ用 出荷容器

        • SmartStack® 非接触型 ホリゾンタルウェーハシッパー

        • SmartStack® ホリゾンタル ウェーハ シッパー

        • フィルムフレームシッパー および リング

  • resources resources ライブラリー
    • 関連資料

      • Product

    • 技術情報

      • 計算およびその他のツール

      • 耐薬品性

      • Chemlock® Filter Housing Technical Information

      • Component Technical Information

      • Entegris Test Standards and Protocols

      • FAQ

      • 公式

      • Glossary

      • Material Properties and Safety

      • 粒子特性評価のアプリケーション

    • 業界に潜在する問題/ニーズ

      • 3D NAND Solutions

      • Achieving Hydrogen Purity Standards for Fuel Cells

      • Advanced Coatings

      • 先端成膜材料のイノベーション

      • Automotive Reliability

      • Cars and Chips: The Acceleration of Electronic Systems

      • Chasing the Perfect Pattern

      • Chemical Mechanical Planarization (CMP)

      • Clean Chemical Delivery

      • Clean Gas Delivery

      • CMP Process Monitoring

      • Cold Chain Bioprocessing

      • Dual Containment Tubing

      • 静電気放電 (ESD) の防止

      • Enabling Advanced Lithography

      • End-to-End Gas Filtration Solutions

      • Front-end to Back-end Solutions

      • Glass in Front; Glass in Back

      • High-Density Cell Banking

      • High Purity Chemical Manufacturing

      • デバイスの性能、歩留まり、信頼性を実現する包括的なアプローチ

      • Low-Temperature Bioprocessing

      • More Than Just a Chip Tray

      • Operational Excellence

      • Pandemic Response

      • Particle Characterization

      • Pervasive Defectivity in Semiconductor Manufacturing

      • Protecting Your Data Center Environment from Gas-Phase Contamination

      • The Rare Air of the Semiconductor Fab

      • Silicon Carbide Substrate Solutions

      • The Silicon Precursor Toolbox for Low-Temperature Deposition

      • Solid Precursors and Delivery Systems

      • 革新的な材料で先端技術の課題を解決

      • Storage Class Memory

      • Food and Beverage Contamination Control

      • Targeted Contaminant Removal

      • Specialty Gases and Delivery Systems for Ion Implantation

      • Accelerating Speed-to-Yield with High-Purity Materials Solutions

      • Commercial Air Quality

      • Molybdenum, the Precursor Revolutionizing Semiconductor Manufacturing

    • Ensights (Blog)

    • ソートリーダーシップ

      • 3D NAND Solutions

      • Automotive Reliability

      • 高純度薬液供給

      • End-to-End Gas Purification Solutions

      • Front-end to Back-end Solutions

      • Operational Excellence

      • High Purity Chemical Manufacturing

      • The Rare Air of the Semiconductor Fab

      • Chasing the Perfect Pattern

      • Cold Chain Bioprocessing

      • Advanced Coatings

      • Enabling Advanced Lithography

      • The Silicon Precursor Toolbox for Low-Temperature Deposition

    • Scientific Report

  • about us about us インテグリスについて
    • 企業概要

    • Corporate Social Responsibility

    • Careers

    • イベント

    • 株主・投資家向け情報

    • 規定/商標

    • グループ会社

    • News Releases

    • Services Overview

    • Entegris Blog

    • SEMICON West 2020

    • インテグリスの日本法人

    • Test

    • Test News Page Template

    • 製造拠点

Featured Presentation

Emerging Trends in Purification and Analytics Across the Fab

Wednesday, October 14 | 10:15–11:00 AM EDT and 9:15–10:00 PM EDT

Join Entegris’ SVP and Chief Technology Officer, Dr. Jim O’Neill for a keynote presentation titled: Emerging Trends in Purification and Analytics Across the Fab.

During this discussion Dr. O’Neill will describe the leading-edge semiconductor processing trends shaping how companies design for high-purity commodity and specialty gases using filtration and purification. He will explain the basics of filtration and purification technologies, offer the science beyond current solutions, and offer specific case studies showcasing solutions to challenging, emerging applications. Dr. O’Neill will conclude by describing the value of new tools, such as modeling and analytics, and how these tools can further assist companies to meet the stringent requirements of leading-edge semiconductor processes.

Learn More
esg-2020

Featured Content

Clean Gas Delivery

Gas purity must extend through the full supply chain to prevent process excursions and improve device performance and reliability.

Exploring Possibilities: A Holistic Approach to Materials Processing for Scaled Devices

Enabling performance, yield, and reliability in emerging logic devices, including innovations in specialty materials for R&D and production, delivery and storage systems, material purity and wafer cleanliness, environmental purity, and finished wafer protection.

New Collaborative Approach

Explore the ‘New Collaborative Approach’, a new model of engagement targeting contamination control to improve automotive defectivity and reliability.

Gas Filtration and Purification Solutions

When it comes to filtration and purification of air, bulk gas or spec gas, Entegris has the expertise, the technology and the solution to meet your needs.

Gas Purifier Regeneration Solutions

To help keep contamination from reaching your process, we offer easy access to our gas purifier regeneration services. Regeneration is the process of removing impurities from a saturated gas purifier. The regeneration process eliminates all contamination, and the lifetime after regeneration is identical to a new gas purifier. 

Specialty Gas Solutions

We provide a variety of gas packages to fit a wide range of needs. From semiconductor applications to solar processes to flat panel display manufacturing, we have the right gas in the right package and delivery source for you.